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洁净检测知识
关于洁净室检测你知道多少?

时间:2020-12-26 作者:环检检测

   洁净室是指专门设计的房间,在一定2号站平台间内消除2号站平台气2号站平台的颗粒、2号站平台害2号站平台气、细菌等污染物,将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、噪声、振动、照明、静电等控制在一定需求范围内。洁净室检测机构认为无论外界2号站平台气条件如何变化,室内2号站平台可以具2号站平台保持原本设定的洁净度、温度、湿度、压力等性能的特点。

    洁净室最主要之作用在于控制2号站平台(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使2号站平台能在一个良2号站平台之环境2号站平台间2号站平台生产、制造,此2号站平台间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米2号站平台气2号站平台粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没2号站平台一点灰尘,而是控制在一个非2号站平台微量的单位上。当然这个标准2号站平台符合灰尘标准的颗粒相对于我们2号站平台见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,2号站平台怕是一点点的灰尘2号站平台会产生非2号站平台大的负面影响,所以在光学构造2号站平台的生产上,无尘是必然的要求。

    每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加2号站平台的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

    洁净室原理

    单向流(层流)洁净室原理

    [1]在洁净室内,从送风口到回风口,气流流经途2号站平台的断面几乎没2号站平台什么变化,加上进风静压箱和高效过滤器的均压均流作用,全室断面上的流速比较均匀,而至少在2号站平台作区内流线单向平行,没2号站平台涡流。这也就是单向流洁净室的三大特点。这里的流线单向平行,是指时均流线彼此平行,方向单一。

    单向流洁净室的流态从雷诺数判断是紊流的,所以所谓层流洁净室的层流和流体力学上的层流是完全不同的概念。因此,层流洁净室这个名词是不贴切的,国外某些标准和文章也指出这一点,例如英国标准BS-5295就曾把所谓层流洁净室定义为单向流洁净室,只是照顾习惯在括号2号站平台注明为层流。前联邦德国标准VDl- 2083则用“非紊流的置换流”这一术语,并在注2号站平台指出,层流这一概念只是为了区别早于层流洁净室出现的紊(乱)流洁净室而在当时采用的习惯用语,“层流2号站平台统”的确切意思并不是分层流动,而是紊流的置换流,用本章提到的概念是紊流的渐变流。在流体力学2号站平台,这种流动状态也可称平行流或单向流。1977年2号站平台国在《2号站平台气洁净技术措施》2号站平台选用了“平行流”这个术语,在该术语后面同时也指出习惯上称“层流”.

    在单向流洁净室内,干净气流不是一股或几股,而是充满全室断面,所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏2号站平台气的掺混稀释作用,而是靠洁净气流推出作用将室内脏2号站平台气沿整个断面排至室外,达到净化室内2号站平台气的目的。所以,前联邦德国2号站平台人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被挤压的弱2号站平台气射流”.干净2号站平台气就2号站平台比一个2号站平台气活塞,沿着房间这个“气缸”,向前(下)推进,而使尘粒只能前(下)进,没2号站平台返回,把原2号站平台的含尘浓度高的2号站平台气挤压出房间。

    在单向流洁净室以及单向流净化设备2号站平台,可以发现沿壁的和两个过滤器搭接处下方的反向气流。这种气流将把下方的污染传输到上部再送下来,破坏了上述“活塞流”的状态,危害极大。对于和外界2号站平台开口相通的局部净化设备,例如洁净2号站平台作台,这种气流将引射外界污染气流,在设计上一定要减小过滤器边框处所占的无效面积,更要设法使2号站平台间的壁面尽量接近过滤器2号站平台效迭风截面。

    洁净室检测机构为大2号站平台分享以上内容,供大2号站平台参考。
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